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熱式氣體流量傳感器簡(jiǎn)介
熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類(lèi)傳感器，利用 MEMS 熱式原理對(duì)管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測(cè)。
流量芯片由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成，熱偶堆對(duì)稱(chēng)分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。
加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)進(jìn)行加熱，熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓。當(dāng)流體靜止時(shí)
加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱(chēng)位置的溫度是相同的；當(dāng)流體從右向左流動(dòng)時(shí)等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱(chēng)位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測(cè)定 。
由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測(cè)出流體質(zhì)量流量。
熱式氣體流量傳感器特點(diǎn)及應(yīng)用
熱式氣體流量傳感器利用比較簡(jiǎn)單的構(gòu)造來(lái)準(zhǔn)確地測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)過(guò)程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
熱式氣體流量傳感器選型
型號(hào) | FR03 | FR03H |
產(chǎn)品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 1/2/3/4/5 |
通徑 | DN3 | |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V | 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC |
工作電壓 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | |
工作壓力 | 可定制 | ≤200Kpa |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲(chǔ)存溫度 | -20℃~80℃ | |
測(cè)量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選） | |
機(jī)械接口 | / | ISO3mm |
型號(hào) | FR06 | FR15 |
產(chǎn)品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 10/15/20 | 0-300 |
通徑 | DN6 | DN15 |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5v或數(shù)字IIC | 線性模擬電壓和數(shù)字IIC |
工作電壓 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | 0-9SLM ±0.5SLM 9-300SLM ±2.5%FS |
工作壓力 | 可定制 | / |
工作溫度 | 0℃~50℃ | 5℃~60℃ |
儲(chǔ)存溫度 | -20℃~80℃ | |
測(cè)量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | 2.54mm-5P插針或PH2.0-5P端子（可選） | Molex 87832-1010 |
機(jī)械接口 | φ6-G1/8氣動(dòng)插頭 | / |
型號(hào) | FR20 | F1012 |
產(chǎn)品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 150/200/300 | 0.03/0.05/ 0.1/0.2/0.3/0.5/1 |
通徑 | DN20 | DN3 |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V或數(shù)字IIC | 線性1-5V/0.5-4.5V |
工作電壓 | DC5V-14V | DC7V-14V |
精度 | ±（2±0.5FS）% | ±2.5%FS |
工作壓力 | ≤200KPa | |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲(chǔ)存溫度 | -20℃~80℃ | |
測(cè)量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P端子 | 2.54mm-5P插針 |
機(jī)械接口 | ISO20mm | ISO3mm |
型號(hào) | F1031 | F1031V |
產(chǎn)品圖 |  |  |
常規(guī)量程（SLM） | 50/100/150/200/300 | 100/150/200/300 |
通徑 | DN20 | |
輸出方式 | 線性1-5V/0.5-4.5V | 線性0.5-4.5V |
工作電壓 | DC7V-14V | DC5V-14V |
精度 | ±2.5%FS | ±4%FS |
工作壓力 | ≤200KPa | |
工作溫度 | 0℃~50℃ | |
儲(chǔ)存溫度 | -20℃~80℃ | |
測(cè)量介質(zhì) | 干燥潔凈的非腐蝕性氣體 | |
電氣接口 | PH2.0-5P端子 | |
機(jī)械接口 | ISO20mm | |
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